Сензор за температура и влажност за полупроводникова схема за контрол на влажността на температурата в чиста стая

Продуктово шоу

Температуратаивлажността на чистото пространство се определя главно според изискванията на процеса, но при условие, че отговаря на изискванията на процеса, трябва да се вземе предвид усещането за комфорт.С подобряването на изискванията за чистота на въздуха се наблюдава тенденция към все по-строги изисквания за температура и влажност.
Тъй като точността на обработка е все по-фина, диапазонът на температурни колебания е все по-малък.Например, в процеса на литографско експониране на широкомащабно производство на интегрални схеми, разликата в коефициента на топлинно разширение между стъкло и силиконова пластина като материал за маска трябва да бъде все по-малка и по-малка.Силиконова пластина с диаметър 100 um, повишаване на температурата с 1 градус, ще причини линейно разширение от 0,24 um, така че трябва да има температура от ±0,1 градуса, като в същото време стойността на влажността обикновено е ниска, защото хората се потят, продуктът ще има замърсяване, особено се страхува от натриев полупроводников семинар, този семинар не трябва да надвишава 25 градуса.
Високата влажност причинява повече проблеми.Когато относителната влажност надвиши 55%, по стените на тръбата за охлаждаща вода ще се образува роса, което ще причини различни аварии, ако това се случи в прецизни устройства или вериги.Когато относителната влажност е 50%, лесно ръждясва.Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът, полепнал по повърхността на силициевия чип, ще бъде химически адсорбиран върху повърхността, за да устои на отстраняването.Колкото по-висока е относителната влажност, адхезията е трудна за отстраняване, но когато относителната влажност е по-ниска от 30%, частиците лесно се адсорбират на повърхността поради действието на електростатична сила и голям брой полупроводникови устройства са склонни към срив.Оптималният температурен диапазон за производство на вафли е 35-45%.

Поради това контролът на температурата и влажността е особено важен, HENGKO може да ви предостави серия отперсонализирани решения за обработка на предавател за температура и влажност!

Сензор за температура и влажност за полупроводникова схема за контрол на влажността на температурата в чиста стая

Не можете да намерите продукт, който да отговаря на вашите нужди?Свържете се с нашия търговски персонал заOEM/ODM услуги за персонализиране!