Полупроводникови филтри

Полупроводникови газови филтри:

Осигуряване на безупречна чистота на газа при производството на чипове

В сложния свят на производството на полупроводници, където прецизността и чистотата са от първостепенно значение, качеството на

използваните газове играят критична роля при определянето на успеха на процеса. Примеси, дори на безкрайно малки нива,

може да причини хаос на деликатните вериги на микрочиповете, правейки ги дефектни и неизползваеми. За защита

този критичен процес, полупроводниковите газови филтри стоят като непоколебими пазители, щателно премахвайки замърсителите

и осигуряване на първокласно качество на газовете, които преминават през производствените линии.

Има много отлични характеристики и предимства на синтерованите метални филтри

1. Изработено в най-съвременна среда за чисти стаи

Тези филтри се раждат в най-съвременна чиста стая, среда, където безупречните условия се поддържат щателно, за да се сведе до минимум всяко потенциално замърсяване. Те преминават през строг производствен процес, започващ с прецизно заваряване в атмосфера на пречистен въздух. Последващото промиване с дейонизирана вода, последвано от продухване с филтриран азот под високо налягане, елиминира всички остатъчни частици и намалява риска от отделяне на частици.

2. Изключителна ефективност на отстраняване на частици

Със забележителна ефективност на филтриране от 9 LRV за 0,003 μm частици, придържайки се към строгите стандарти, определени от методите за изпитване SEMI F38 и ISO 12500, тези филтри ефективно отстраняват всякакви генерирани от корозия частици и частици, генерирани от движещи се части, гарантирайки девствената чистота на газове.

3. Превъзходна механична якост

Строго тествани, за да гарантират изключителна устойчивост при взискателни производствени процеси и среди, които често използват високо налягане на газа, тези филтри осигуряват непоколебима производителност през целия си живот.

4. Превишаване на най-високите индустриални стандарти

Надминавайки строгите изисквания за филтриране при работа с газ за обработка на полупроводници, тези филтри се подлагат на строги тестове, за да се гарантира, че отговарят на критичната ефективност на филтриране, прецизен контрол на потока и стандартите за безопасност, изисквани от системите за доставка на газ в производството на полупроводници.

5. Непоколебим ангажимент за безопасност

За да се предпазят от излагане на запалими, корозивни, токсични и пирофорни технологични газове, корпусите на филтрите се подлагат на щателно изпитване за течове, което гарантира, че постигат забележителна скорост на теч от по-малко от 1x10-9 atm scc/секунда. Този непоколебим ангажимент за безопасност гарантира, че опасните газове се ограничават и предотвратяват причиняването на вреда.

6. Безкомпромисна чистота за съвършенство в производството на чипове

Чрез своите изключителни възможности за филтриране, непоколебим ангажимент за безопасност и придържане към най-високите индустриални стандарти, тези газови филтри играят ключова роля в защитата на сложния процес на производство на полупроводници. Те стоят като пазители на чистотата, като гарантират, че само най-чистите газове преминават през производствените линии, проправяйки пътя за създаването на високопроизводителни микрочипове, които захранват нашия модерен свят.

Видове полупроводникови филтри

Полупроводниковите филтри се използват в различни приложения, включително:

* Производство на електроника:

Полупроводниковите филтри се използват за отстраняване на частици от свръхчиста вода, газове и химикали, използвани в производството на полупроводници.

* Химическа механична планаризация (CMP):

Полупроводниковите филтри се използват за отстраняване на частици от CMP суспензии, които се използват за полиране на полупроводникови пластини.

* Биомедицински:

Полупроводниковите филтри се използват за отстраняване на частици от течности, използвани в медицинската диагностика и лечение.

* Околна среда:

Полупроводниковите филтри се използват за отстраняване на частици от въздуха и водата.

Има четири основни вида полупроводникови филтри:

1. Мембранни филтри:

Мембранните филтри са направени от тънък, порест филм, който позволява на течностите да преминават, като същевременно улавя частици.

 

Мембранни филтри за полупроводници

 

 

2. Дълбочинни филтри:

Дълбочинните филтри са направени от дебел, извит слой от материал, който улавя частиците, докато преминават през филтъра.

 

Дълбочинни филтри за полупроводници

 

 

3. Адсорбиращи филтри:

Адсорбиращите филтри са направени от материал, който привлича и задържа частиците.

 

 Адсорбиращи филтри за полупроводници

 

 

4. Филтри от синтерован метал

Филтрите от синтерован метал са вид дълбочинен филтър, който обикновено се използва в производството на полупроводници. Те са направени чрез синтероване на фин метален прах в пореста структура. Филтрите от синтерован метал са известни със своята висока издръжливост, висока ефективност на филтриране и способност да издържат на високи температури и налягания.

Предимства на синтерованите метални филтри за производство на полупроводници:

* Висока издръжливост:

Филтрите от синтерован метал са много издръжливи и могат да издържат на тежки работни условия, включително високи температури, налягания и корозивни химикали.

 

* Висока ефективност на филтриране:

Филтрите от синтерован метал могат да отстраняват частици с размер до 0,01 микрона, което е от съществено значение за защита на деликатните полупроводникови компоненти от замърсяване.

* Дълъг живот:

Филтрите от синтерован метал имат дълъг живот и могат лесно да се почистват и използват повторно.

* Химическа съвместимост:

Филтрите от синтерован метал са съвместими с широка гама от химикали, което ги прави подходящи за използване в различни процеси за производство на полупроводници.

Приложения на синтеровани метални филтри в производството на полупроводници:

* Пречистване на газ:

Спечените метални филтри се използват за пречистване на газове, използвани в производството на полупроводници, като азот, водород и кислород.

* Химическа филтрация:

Спечените метални филтри се използват за филтриране на химикали, използвани в производството на полупроводници, като киселини, основи и разтворители.

* Филтриране на свръхчиста вода:

Филтрите от синтерован метал се използват за филтриране на свръхчиста вода, използвана в производството на полупроводници.

* CMP филтриране на суспензия:

Спечените метални филтри се използват за филтриране на CMP суспензии, които се използват за полиране на полупроводникови пластини.

Спечените метални филтри са съществена част от процеса на производство на полупроводници, като помагат да се гарантира производството на висококачествени полупроводникови устройства.

 

Типът полупроводников филтър, използван в конкретно приложение, зависи от размера на частиците, които се отстраняват, вида на филтрираната течност и желаното ниво на филтриране.

Ето таблица, обобщаваща различните видове полупроводникови филтри:

Тип филтър	Описание	Приложения	Изображение
Мембранни филтри	Изработен от тънък, порест филм, който позволява на течностите да преминават, като същевременно улавя частици.	Производство на електроника, CMP, биомедицински, екологични	Мембранни филтри за полупроводници
Дълбочинни филтри	Изработен от дебело, изкривено легло от материал, който улавя частиците, докато преминават през филтъра.	CMP, биомедицински, екологичен	Дълбочинни филтри за полупроводници
Адсорбиращи филтри	Изработен от материал, който привлича и задържа частиците.	Производство на електроника, CMP, биомедицински, екологични	Адсорбиращи филтри за полупроводници
Филтри от синтерован метал	Изработен чрез синтероване на фин метален прах в пореста структура.	Пречистване на газ, химическо филтриране, филтриране на свръхчиста вода, филтриране на суспензия от CMP	Отваря се в нов прозорецwww.hengko.com Филтри от синтерован метал за полупроводници

Приложение

Спечените метални полупроводникови газови филтри се използват широко в различни приложения в полупроводниковата индустрия. Техните уникални свойства, като висока ефективност на филтриране, издръжливост и способност да издържат на високи температури и налягания, ги правят основен компонент на системите за доставка на газ в производството на полупроводници.

Ето някои от специфичните приложения на синтеровани метални полупроводникови газови филтри:

1. Производство на вафли:

Спечените метални филтри се използват за пречистване на газове, използвани в производството на пластини, като азот, водород и кислород. Тези газове са от съществено значение за процеси като епитаксиален растеж, ецване и легиране.

2. Химическа филтрация:

Спечените метални филтри се използват за филтриране на химикали, използвани в производството на полупроводници, като киселини, основи и разтворители. Тези химикали се използват за различни цели, включително почистване, ецване и полиране.

3. Филтриране на свръхчиста вода:

Филтрите от синтерован метал се използват за филтриране на свръхчиста вода (UPW), използвана в производството на полупроводници. UPW е от съществено значение за почистване и изплакване на вафли, както и за приготвяне на химикали.

4. CMP филтриране на суспензия:

Спечените метални филтри се използват за филтриране на CMP суспензии, които се използват за полиране на полупроводникови пластини. CMP е критичен процес при производството на микрочипове.

5. Филтриране на място (POU):

Спечените метални филтри често се използват като POU филтри, които се инсталират директно на мястото на използване, за да осигурят най-високо ниво на филтриране. POU филтрите са особено важни за приложения, където чистотата на газа е критична, като например при производството на микропроцесори и други високопроизводителни устройства.

6. Боравене с газ с висока чистота:

Спечените метални филтри се използват в системи за обработка на газ с висока чистота за отстраняване на замърсители от газове, използвани в производството на полупроводници. Тези замърсители могат да включват частици, влага и органични съединения.

7. Производство на микроелектроника:

Спечените метални филтри се използват в производството на микроелектроника, като компютри, таблети, мобилни телефони, IoT сензори и контролни устройства.

8. Филтриране на микроелектромеханични системи (MEMS):

Спечените метални филтри се използват при MEMS филтриране, което е процес на отстраняване на замърсители от микроелектромеханични системи. MEMS се използват в различни приложения, включително сензори, задвижващи механизми и преобразуватели.

9. Филтриране на устройството за съхранение на данни:

Спечените метални филтри се използват при филтриране на устройства за съхранение на данни, което представлява процес на премахване на замърсители от устройства за съхранение на данни, като твърди дискове и твърди дискове.

В допълнение към тези специфични приложения, синтерованите метални полупроводникови газови филтри се използват и в различни други приложения в полупроводниковата индустрия. Тяхната гъвкавост и надеждност ги прави важен инструмент за производителите на полупроводници.

Търсите висококачествени синтеровани метални полупроводникови газови филтри?

HENGKO е вашият любим партньор за OEM решения в системите за производство на полупроводници.

Нашите прецизно проектирани филтри гарантират надеждност и ефективност на вашите процеси, предлагайки ви предимство на конкурентен пазар.

Защо да изберете филтрите на HENGKO?

* Превъзходно качество и издръжливост
* Персонализирани решения, които да отговарят на вашите специфични нужди
* Подобрена производителност за производство на полупроводници

Не позволявайте на предизвикателствата с филтрирането да спрат производството ви.

Свържете се с нас днес, за да проучите как нашите синтеровани метални филтри могат да революционизират вашата производствена система.

Свържете се с нас наka@hengko.com

Партнирайте си с HENGKO и направете крачка към съвършенство в производството на полупроводници!