Филтрация с висока чистота за ултрачисто производство на полупроводници
Описание
Газов филтър с висок поток – Специално проектиран за филтриране на технологични газове с ултрависока чистота в производството на полупроводници. Прецизно изработен от неръждаема стомана 316L, той е с многоколонна или подредена дискова структура, за да осигури ниско съпротивление при високи дебити, с точност на филтриране, достигаща 0,003 μm, за да отговори на изискванията за ултрависока чистота. Изцяло металната конструкция го прави идеално решение за филтриране за динамични среди с висока температура.
Характеристика на продукта
▶Цялата конструкция от неръждаема стомана 316L— Осигурява издръжливост и устойчивост на корозия.
▶Висок дебит, ниско съпротивление— Оптимизиран за висок дебит с минимална загуба на налягане.
▶Ултрависока ефективност на задържане на частици— Отличен за поддържане на ултрачисти условия.
▶Устойчив на високи температури, налягане и корозия— Подходящ за тежки условия.
▶Съвместим с различни технологични газове— Универсален за множество промишлени приложения.
▶Идеален за производство, тестване и опаковане в чисти помещения— Идеален за употреба в контролирана среда.
▶100% тестване за почтеност— Всеки филтър преминава през обстойни тестове за целостта за гарантиране на качеството.
▶100% тест за течове на хелий— Проверено чрез тест за течове с хелий, за да се гарантира надеждност в критични приложения.
Технически данни
Технически параметри
| Параметър | Спецификация |
|---|---|
| Материал на филтърния елемент | 316L неръждаема стомана, синтерована на прах |
| Материал на корпуса | Неръждаема стомана 316L |
| Максимално входно налягане | 207 бара |
| Максимално работно диференциално налягане | 5,2 бара |
| Процент на течове при валидиране на хелий | 2 x 10⁻¹⁰ куб. см/мин |
| Тестване на хелий с процент на течове | 1 x 10⁻¹⁰ куб. см/мин |
| Повърхностна обработка | |
| Външна повърхност | Ra < 1,6 μm |
| Вътрешна повърхност | Ra < 0,2 μm |
| Максимална работна температура | |
| Инертен газ | 400-500℃ |
| Корозивен и реактивен газ | 50℃ |
| Ефективност на задържане на частици | ≥99,9999999% (9LRV) при 30 slpm |
| Чистота надолу по веригата | ≤0,03 частици/литър @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Размер на задържане на частиците | ≥0,003 μm |
Размер
Ето номера на частта, която можете да поръчате, и подробности за размера:
| Модел на продукта | Материал на филтърния елемент | Точност на филтрация (μm) | Тип връзка |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | Неръждаема стомана 316L | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | Неръждаема стомана 316L | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | Неръждаема стомана 316L | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | Неръждаема стомана 316L | 10~0,003 | 1” |
| Персонализируем | Неръждаема стомана 316L | 10~0,003 | При необходимост |
Типични приложения
някои типични приложения наВисокочисти насипни и комунални филтрииФилтри за газов поток на газовата площадка:
1. Производство на полупроводници
*Осигурява подаване на ултрачист газ за производство на пластини, ецване и процеси на химическо отлагане от пари (CVD).
*Поддържа висока чистота в системи за разпределение на газ в насипно състояние за азот, аргон и други носещи газове.
2. Фармацевтично производство
*Осигурява стерилен и без частици газ за критични производствени среди.
*Поддържа филтрация с висока чистота за чисти помещения и контролирани среди, за да се запази целостта на продукта.
3. Лабораторни газови системи
*Използва се в лабораторни условия за пречистване на газови потоци в аналитично оборудване като газова хроматография и масспектрометрия.
*Осигурява високочисти газове за изследователски и тестови приложения, предпазвайки чувствителни инструменти.
4. Преработка на храни и напитки
*Филтрира CO₂ и други газове, използвани при карбонизация, опаковане и съхранение, като по този начин поддържа безопасността и качеството на храните.
*Осигурява беззамърсено подаване на газ в преработвателните предприятия, особено за газодобивни предприятия на едро.
5. Нефтена и газова промишленост
*Пречиства потоците от природен газ при филтриране на газови подложки, премахвайки замърсителите преди съхранение или транспортиране.
*Защитава оборудването надолу по веригата, като премахва частици, влага и примеси в газови системи с високо налягане.
6. Производство на химикали
*Филтрира полезни газове като азот и аргон, използвани в химичния синтез и реакции.
*Поддържа чистотата на газа, за да предотврати замърсяване и несъответствия в реакциите.
7. Аерокосмическа и отбранителна промишленост
*Доставя високочисти газове в производствени и тестови среди за аерокосмически материали и компоненти.
*Осигурява постоянна чистота на газа в контролирана среда за сглобяване на самолети и отбранително оборудване.
8. Производство на енергия (електроцентрали)
*Филтрира газове под високо налягане за охлаждащи и технологични приложения, особено при високи температури.
*Повишава ефективността и намалява износването на оборудването, като предотвратява замърсяването в системите за охлаждане и поток на газ.
Тези fФилтрите са от съществено значение във всяко приложение, изискващо чист и постоянен газов поток, подобрявайки защитата на оборудването,
ефективност на процесите и качество на крайния продукт в различните индустрии.
Изпратете ни вашето съобщение:
