Високопроизводителни IGS филтри с C-уплътнение за повърхностен монтаж за полупроводникови газови системи

Високопроизводителни IGS филтри с C-уплътнение за повърхностен монтаж за полупроводникови системи за подаване на газ - представено изображение

Кратко описание:

Марка:ХЕНГКО

Име на филтъра:IGS C-Seal филтър за повърхностен монтаж

Материал:SS 316L

Дебит:10 ~ 120 SLPM

Максимална работна температура:460°C

Размер на отстранените частици:> 0,003 μm

Изпратете ни имейл Обратно към подкатегориите

Детайли за продукта

Етикети на продукти

Описание

Филтрите за повърхностен монтаж HENGKO са проектирани да отговарят на високите изисквания на интегрираните газови системи, използвани в полупроводникови OEM инструменти. Предлагайки водеща в индустрията филтрация при 0,003 µm, тези филтри осигуряват изключителна производителност и надеждност с ефективност на улавяне на частици ≥99,9999999% (9-LRV) при 120 slpm.

Изработени от здрава неръждаема стомана 316L, прахово синтерована за филтърния елемент и корпуса, тези филтри отговарят на спецификациите SEMI F86-0304, като включват двупортови компоненти, пригодени за 1.125” газоразпределителни системи с C-образна конфигурация на уплътнението. Те поддържат максимално входно налягане от 3.4 MPa при 100°C и максимална работна разлика в налягането от 0.69 MPa при 100°C.

Тези специализирани филтри, съвместими със спецификациите на уплътнения тип C и W, постигат чистота надолу по течението с освобождаване на частици

С повърхностно покритие Ra< 1,6 µm от външната страна и Ra< 0,13 µm от вътрешната страна, те са проектирани да издържат на високи температури до 460°C. Проектирани за лесна интеграция и модулни надстройки на дизайна, тези филтри опростяват монтажа и поддръжката, спомагайки за оптимизиране на производителността на системата в приложенията за подаване и управление на полупроводникови газове.

Характеристика на продукта

▶ Цялостна конструкция от неръждаема стомана 316L
▶ Миниатюрен дизайн, компактна структура, пестене на място
▶ Отлични характеристики на газозаместване и десорбция
▶ Устойчив на висока температура, високо налягане и корозия
▶ Електрополиран корпус от неръждаема стомана 316L
▶ Лесен и ефикасен монтаж и поддръжка
▶ Механично уплътнение, структурно незаварено към средата

Високопроизводителни IGS филтри с C-уплътнение за повърхностен монтаж за полупроводникови газови системи

Технически данни

Технически параметри	Ценности
Материал на филтърния елемент	316L неръждаема стомана синтерован прах
Материал на корпуса	Неръждаема стомана 316L
Максимално входно налягане	3,4 МПа при 100°C
Максимален работен диференциал	0,69 МПа при 100°C
Проверка на хелий за течове	1x10⁻¹¹ куб. см/мин
Тест за течове с хелий	1x10⁻⁹ куб. см/мин
Повърхностна обработка	Външна повърхност Ra< 1,6 μm
	Вътрешна повърхност Ra< 0,13 μm
Максимална работна температура	460°C
Ефективност на прихващане на частици	≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (референтен MPPS, всички частици)
Чистота надолу по веригата	Освобождаване на частици:< 0,03 частици/литър (< 1 частица/фут³)
	Летливи вещества:< 10 ppb влага
Размер на прехващане на частици	≥0,003 μm
Диапазон на потока	0 ~ 120 ст./мин.

Размер

размер на филтрите за повърхностен монтаж

Ето номера на частта, която можете да поръчате, и подробности за размера:

Модел на продукта	Дебит	Височина H (мм)	Прецизност на филтриране	Ниво на почистване
Z01B-00637	10 мин./мин.	51.6	0,003 μm	C
Z01B-00638	40 мин./мин.	82.9	0,003 μm	C
Z01B-00687	80 ст./мин.	126.2	0,003 μm	C
Z01B-00688	120 ст./мин.	167.9	0,003 μm	C